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晶圆切割有哪些方法

时间:2022-06-02

晶圆在成为芯片之前需要经过多道工艺,首先要进行切割。晶圆切割的方法有多种,目前比较常见的几种方法是砂轮切割,比较具有代表性的是陆芯半导体的设备;激光切割、划刀劈裂法,还有金刚线切割等等。
线锯切割技术可以达到切缝窄、效率高、切片质量好的效果,并且可进行曲线切,基于此,线切成为目前最广泛采用的切割技术。