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时间：2022-06-21
由于晶圆在切割的过程中会产生热量，所以常见的晶圆切割通常用去离子水来进行冷却。
我们使用去离子水冲洗晶圆切割刀片不难可以有效防止水中的可移动离子对晶圆造成污染，影响后续的工艺；而且水越纯电阻率越高，导电性越差，高速冲击下比较容易产生静电，在去离子水中加入二氧化碳可以有效防止静电。
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