晶圆切割主要采用的是用金刚石砂轮刀，在切割过程中可能产生崩边，是最常见的一种问题。崩边分为正面崩边和背面崩边，而产生的原因不尽相同。此次主要分析造成正面崩边的原因。
　　正面崩边分为三种类型：1.初期崩边跟新刀片装机有关，可能是刀片安装倾斜、刀片未修成真圆或者金刚石未产生容削槽等原因造成的；2.循环崩边可能是由于刀片表面收到冲击、刀片表面有大颗粒金刚石凸起或者其它外来杂质；3.其它崩边造成的原因有刀片偏摆、给进速度和切割深度的问题，还有可能是因为工件有位移形变造成的异常崩边。